無塵室工程的監控係統簡述

無塵室工程的監（jiān）控係統簡述（shù）

隨著當（dāng）今（jīn）經濟的迅（xùn）速發展（zhǎn）以及科學（xué）水平的不斷提高，我國在科技電子產業取（qǔ）得（dé）了很大程度（dù）上的（de）進步，為國民經濟的發展做出了重要貢獻。半導體電子製造類企業作為中國電子科技騰飛的產業支柱，著重（chóng）根據其產品工藝製程的特殊需求以及製程對無（wú）塵室工程的生產環境潔淨（jìng）等級及相關精度、廠（chǎng）務（wù）數據監測提出了嚴格要求，下麵（miàn）www.5555香蕉.com來看看無塵室工程監控係統的（de）幾個要點：

一是無（wú）塵室工程監控係統的組成，無塵室監（jiān）控係統是一個係統（tǒng）性、綜合性係統，主要包含有工作（zuò）站、打印機、工業交換機（jī）、PLC硬件與軟件、圖控軟件、控製閥以及（jí）相關儀器儀表（biǎo）；

二是無塵室工程監控目的（de），通過對無塵室進行有效監控，充（chōng）分（fèn）掌握廠務相關設備及其具體的運行參數，在此基礎上通過自動控製（zhì）邏輯，實現對設備的預設控製；

三（sān）是無塵室工程的（de）監控範（fàn）圍，監控係統的監控範圍主要（yào）包含超純水/去離子水係統監控，廢水處理係統監控，化（huà）學品係統監控，特氣（qì）係統監控，大宗氣體係統監控（kòng），電（diàn）力監（jiān）控（kòng），潔淨（jìng）室係統的（de）環境指標(包括（kuò）新風機組、工（gōng）藝排風、幹盤管、FFU/CCU、 潔（jié）淨室溫濕度及（jí）其（qí）精度（dù）等)；無塵室工程的（de）一般（bān）機械（xiè）電力（lì）係（xì）統（tǒng）(包括冷（lěng）凍水（shuǐ）、冷卻（què）水、熱水係統、工藝冷卻水、工藝（yì）真空、清（qīng）掃真（zhēn）空（kōng）、壓縮空氣係統等)。